低溫滅菌方法是利用化學滅菌劑殺滅病原微生物的方法。化學藥劑進行滅菌處理時所需溫度較低，通常稱為低溫滅菌方法或化學滅菌方法。低溫滅菌使用的化學消毒劑能夠殺滅所有微生物，達到滅菌保證水平，這類具有滅菌作用的化學藥劑有甲醛、戊二醛、環氧乙烷、過氧乙酸等。化學滅菌用于不能耐受高溫、濕熱材質類的器械的滅菌。醫用滅菌器廠家介紹常用的低溫滅菌方法有過氧化氫等離子低溫滅菌、環氧乙烷滅菌、低溫甲醛蒸汽滅菌等。

　　1.過氧化氫等離子低溫滅菌：通過過氧化氫液體彌散變成氣體狀態后對物品進行滅菌，通過產生的等離子體進行第二階段滅菌。等離子過程還可加快、徹底分解過氧化氫氣體在器械和包裝材料上的殘留。等離子體滅菌法的特點為作用迅速、殺菌可靠、作用溫度低、清潔而無殘留。適用于內鏡、不耐熱器材、各種金屬器械、玻璃等物品；能吸收水分和氣體。

　　2.環氧乙烷滅菌：環氧乙烷是一利無色氣體，低濃度時無味。其氣體穿透力強，可穿透玻璃紙、聚乙烯或聚氯乙烯薄膜等，對微生物的蛋白質、DNA、RNA產生非特異性的烷基化作用，使其失去新陳代謝的基本反應基而被殺滅，殺菌力強，殺面譜廣，滅菌效果可靠，對滅菌物品損害較小等。